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FYM22B-5L双面研磨抛光机

本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光,也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。
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1
产品描述
产品参数
一、设备简介
本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨或抛光,也适用于其它金属、非金属、光学玻璃、蓝宝石等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨或抛光。
 
二、设备特点
1.机身结构优化设计,机架采用铸件龙门式结构,刚性好,承压能力强,能满足高负载下高速稳定运行。
2.上下盘均采用通冷水结构,工件在加工过程中能保持恒定温度,有效地提高了工作效率和加工质量。
3.采用四电机驱动,下盘、上盘、齿圈、太阳轮分别由电机单独驱动,电机均采用变频电机且使用变频调速器控制,能在有效设置范围内以任意速度工作,实现平稳的停止、加速、减速及换向,能有效的防止薄脆工件破碎。
4.本机自带修盘系统,通过伺服系统,能在本机上实现对上下盘进行车削加工,整机精度保持性强。
5.游星轮传动采用柱销齿结构,并采用伺服系统实现太阳轮和齿圈的同步升降,传动平稳无冲击,极大地提高了游星轮和柱销齿的使用寿命,大大降低了机器的维护时间和成本。
6.上盘上下运动采用低摩擦气缸+SCBS自动补偿平衡系统,通过滚珠花键副,平稳地实现高精度压力控制。
7.采用先进的PLC系统,触摸屏操作面板,所有工艺参数及工艺配方可在触摸屏上进行修改设置,可根据设定好的工艺参数自动完成整个加工过程。
8.整机采用自动集中润滑装置,润滑良好,整机使用寿命长。
 
关键词:
研磨机厂家
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主要技术参数:

序号

项目

规格参数

1

上研磨盘尺寸

?1510×?488×85(mm)

2

下研磨盘尺寸

?1510×?488×85(mm)

3

游星轮参数

柱销齿 柱销直径?10  节距21.05齿数82

4

游星轮数量

5

5

最大工件尺寸

?510(mm)

6

工件厚度

0.3-30(mm)

7

下研磨盘转速

0-65(rmp)

8

最大加工压力

1000Kg

9

主气缸

125×350

10

主电机

18.5Kw

11

上盘驱动电机

11Kw

12

齿圈驱动电机

4Kw

13

太阳轮驱动电机

2.2Kw

14

修盘伺服电机

1.3Kw

15

升降伺服电机

0.75Kw

16

设备总功率

39Kw

17

外形尺寸

约3130×1810×2700(mm)

18

设备质量

≈10000Kg

 

安装条件:

序号

项目

指标要求

1

环境

室内地面平坦、无振动源

2

电源

三相五线380V

3

压缩气源

0.6~0.8Mpa

4

温度

0℃-45

5

对湿度

≤95%

 

 

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